チャンバー

こちらは、半導体製造装置で使用されるチャンバーです。

ワーク材質のSUS316Lは、熱伝導率が低く粘性が高いこと、さらに加工硬化することから切削加工が難しい難削材として知られています。

今回のワークは、深さのある穴をあける必要があり、また厚み部分の公差が厳しいため、マシニングセンタでなはく、ワイヤーカットで加工をしています。

また、耐摩耗性を高めるコーティングを施した超硬工具を使用することで、摩擦熱の影響を最小限に抑えて加工を行っています。