ヘール加工

精密機械加工の分野において、シール面の仕上げ精度は製品の性能を左右する重要な要素です。特に、半導体製造装置などの高い気密性が求められる部品では、わずかな加工誤差が大きな影響を及ぼすことがあります。そこで注目されるのが、シール面の微細加工技術であるヘール加工です。

本記事では、ヘール加工の基本概念から、そのメリット、従来のエンドミル加工との違いまでを詳しく解説します。

ヘール加工とは

ヘール加工とは、シール面に対して極めて高精度な微細加工を施す技術であり、シールの密閉性を最大限に引き出す役割を果たします。この加工を適用することで、気密性の向上はもちろん、シールの耐久性や性能の安定性が向上します。

当社では、半導体製造装置メーカーと直接取引を行っており、特に密閉性が求められる半導体製造装置の部品に対するヘール加工の需要が高まっています。

ヘール加工による主なメリット

ヘール加工を施すことで、以下のような効果が得られます。

高精度加工

シール面に微細な溝やパターンを形成し、密閉性を大幅に向上させます。

摩擦の低減

表面を極めて滑らかに仕上げることで、シール面の摩耗を抑制し、摩擦抵抗を低減します。

耐久性の向上

加工精度の向上により、シールの寿命が延び、長期間にわたって安定した性能を維持します。

エンドミル加工とヘールバイト加工の違い

シール面の加工には、エンドミルを使用する方法と、ヘールバイトを用いる方法があります。それぞれの違いについて解説します。

エンドミル加工の限界

エンドミルによる加工では、工具の回転によって表面にツールマーク（加工痕）が残りやすく、精度や滑らかさに限界があります。特に、シール面のように極めて高い気密性が求められる場面では、不均一な加工痕が密閉性を損なう可能性があります。そのため、場合によっては最終仕上げとしてヘールバイトを用いた加工が必要になります。

ヘールバイトによる優れた仕上げ

一方で、ヘールバイトを使用した加工では、専用のマシニングセンターによりバイトを進行方向に対して平行に動かしながら加工を行います。バイトを固定し、ワーク表面を極めて微細な切り込みで滑らせながら削ることで、エンドミルのようなツールマークを残さず、均一で滑らかな仕上がりを実現できます。このため、シール面の仕上げとして最適な加工方法と言えます。

まとめ

ヘール加工は、密閉性が求められる部品の仕上げにおいて極めて重要な技術です。エンドミル加工では難しい高精度な仕上げを可能にし、摩擦の低減や耐久性の向上にも寄与します。

現在当社では、ヘール加工に挑戦中です。実際の加工事例は、後日共有いたします。

最後まで読んでいただきありがとうございました！