A5052 ベースプレート


材質 | A5052 |
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形状 | プレート |
加工方法 | マシニング加工(立形・横形) |
業界 | 半導体製造装置 |
サイズ | 20×150x300 |
精度 | 平面度0.05、平行度0.05 |
ロット | 50個程度 |
概要
こちらは、半導体製造装置で使用されるA5052 ベースプレートです。
1工程目では、立形マシニングセンタ「ニデックOKK VM53R」を用いて、裏面の正面加工を実施しています。続く第2工程では、横形マシニングセンタ「牧野フライス製作所 a61-21PC」によって、表面の正面加工と4面の側面加工を一括で行っています。
このように、立形では正面加工を行い、横形では正面と側面の同時加工を担わせることで、工程を最適に分散・集約。これにより、安定した品質と生産性の両立を実現しています。
当社では、本事例のように立形・横形のマシニングセンタを使い分けるだけでなく、旋盤との複合的な工程設計も取り入れ、効率よく加工を行っています。