ベースプレート

こちらは半導体製造装置で使用されるベースプレートです。

各所にH7精度穴、精度穴ピッチ±0.02がありますが、剛性が高く、高精度な加工が可能な牧野フライス製作所の横形マシニングセンタを使用することで、精度穴径や穴ピッチをばらつきなく加工しています。

また、SS材は非常に歪みやすい材料で、抜き穴加工後に精度が狂ってしまうことが多々あります。そこで、浅切り込みで負荷のかかりにくい切削方法を行うことで歪みを最小限に抑えることができています。