フランジ付きシャフト



| 材質 | SUS304 |
|---|---|
| 形状 | シャフト |
| 加工方法 | 旋盤加工 |
| 業界 | 半導体製造装置 |
| サイズ | φ65×100 |
| 公差 | 同軸度0.015、直角度0.010 |
| ロット | 30個程度 |
概要
こちらは、半導体製造装置で使用されるフランジ付きシャフトです。
通常であれば、旋盤加工→マシニング加工→旋盤加工という工程になるところ、複合旋盤のみで加工することで、工程集約し、リードタイムの短縮とコストダウンを実現しています。
1工程で加工することで、高い直角度、同軸度を実現しています。
本事例のように複合旋盤にて同時加工を行うことで、チャッキングの回数が減り、安定した加工が可能です。
